CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja
Contacts
CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.
General instrument information
Skraćeni naziv instrumenta
CMS-18 SPUTTERING SYSTEM
Kategorija
kapitalna (> 132.722,81 EUR / 1.000.000 HRK)
Vrsta instrumenta
alat za fabrikaciju
Vrsta analize
strukturna analiza
Samostalan/vezan
samostalan
Stanje opreme
potpuno funkcionalan
Discipline
Fizika
Vanjski link za kapitalnu opremu