- PIXE (particle induced x-ray spectroscopy) tipično koristi snopove protona 2-3 MeV koji ionizacijom unutrašnjih atomskih ljuski pobuđuju emisiju karakterističnih x-zraka elemenata u uzorku. Detekcija x-zraka svih elemenata težih od Na (Z>11) se vrši poluvodičkim Si(Li) ili SDD detektorima. Analiza se može vršiti u zraku vanjskim snopom promjera 1 mm, u vakuumskoj komori široklim snopom (promjera 1 - 8 mm) ili ionskoj mikroprobi (promjera 1 mikrometar) - RBS (Rutherford backscattering) je metoda koja koristi detekciju unatrag raspršenih iona snopa, a služi za dubinsko profiliranje elemenata težih od samog snopa (ukoliko se koristi snop He, moguće je analizirati sve elemente teže od Li). - PIGE (particle induced gamma emission) tipično koristi snopove protona energija nekoliko MeV-a koji nuklearnim reakcijama pobuđuju jezgre lakih elemenata u uzorku na emisiju gama zračenja. Detekcija se vrši poluvodičkim Ge detektorom, a posebno je osjetljiva ze elemente poput Li, B, Be, F, Na, itd. - NRA (nuclear reaction analysis) tipično koristi snopove protona ili deuterona energija nekoliko MeV-a koji nuklearnim reakcijama vode na emisiju čestica. Detekcija se vrši poluvodičkim Si detektorom, a metoda je posebno osjetljiva za lake izotope. - TOF ERDA (time of flight elastic recoil detection analysis) je metoda koja koristi snopove težih iona za analizu dubinskih profila koncentracija lakih (izbijenih) atoma sa površine uzoraka (100 - 500 nm). Tipično se koriste snopovi Cl, I, Au iona.