• Kvantitativno dubinsko profiliranje svih elemenata u uzorcima (uključujući i izotope vodika).
• Analiza površinskih slojeva uzoraka (npr. tankih filmova) maksimalne debljine do 500 nm, s površinskom dubinskom razlučivosti od 5 nm.
• Metodom se mogu razlučiti svi izotopi do mase 40 amu, s granicom detekcije od 0.1 atomskih postotaka.
• Za analizu se koriste teški ioni (Cl, I, Au..) energija do 40 MeV.

Rezultati analize

Energija i vrijeme proleta izbijenih iona mjere se istovremeno, što omogućuje odvajanje svih elemenata prema energiji i masi. Tipična 2D mapa (mjerena energija i vrijeme proleta u koincidenciji), snimljena pomoću sustava za skupljanje podataka  SPECTORv2, nalazi se na Slici 1. Spektar pojedinog elementa/izotopa može se odvojiti i analizirati pomoću pripadnih programa (Slika 2) da bi se dobio atomski udio i dubinski profil tog elementa/izotopa u uzorku.

Slika 1: ToF-ERDA 2D mapa, uzorak: LSCO film deponiranom na MgO podlozi

Slika 2: Dubinski profili pojedinih elemenata u LSCO filmu deponiranom na MgO podlozi, mjerenja su napravljena korištenjem 23 MeV I⁶⁺

Upute za korisnike (izgled uzoraka za analizu)

Uzorci tankih filmova, površinske hrapavosti manje od 10 nm. Veličina uzorka je limitirana je na 10×10 mm².

KORISNE INFORMACIJE:

• ToF-ERDA tehnika
• Kalendar korištenja akceleratora

REFERENCE: